コラム
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第71回 「単一電子トランジスタを用いた高感度バイオ・イオンセンサーの研究」
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私の研究室では最近Si単一電子トランジスタ(SET)を用いたバイオセンサー及びイオンセンサーを世界で初めて実現しました。これにはSETの室温動作及びアルカリ金属イオン等を含む緩衝液を用いるプロセスとULSI作製プロセスとの整合性の両方を実現する必要があり、今まで報告がありませんでした。今回Siナノサイズドットを複数直列に配置する事によりドット１つ当たりの実効接合容量を減らし、室温動作を容易にしました。SETではクーロン振動を利用でき、原理的にナノワイヤトランジスタに比べてバイオ物質やイオンの検出感度を大きくできると考えられます。これらの結果は2011年(Vol. 98, Art. No. 123705)と2012年(Vol. 100, Art. No. 023704)のApplied Physics Lettersに掲載されました。
(2013/6/14)
